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高純工藝系統(tǒng)特氣設備特氣柜 讓人放心使用的原因

2020-11-06 10:39:28    責任編輯: 特氣柜設計制造公司     0

高純氣體系統(tǒng)由專用氣體設備(特氣柜、VMB等)、氣體偵測傳感系統(tǒng)、自控及軟件系統(tǒng)、氣體管閥件等組成;系統(tǒng)的前端連接高純氣體供氣裝置,系統(tǒng)的終端連接客戶自購的工藝生產(chǎn)設備。



特氣柜設備功能設計上——讓人心安


特氣柜能將高純氣體通過特氣管道安全穩(wěn)定的傳輸至使用終端設備,同時保證高純氣體不會因吸附氣體和水分、脫放氣等原因受到污染,保證氣體純度,使氣體滿足生產(chǎn)工藝的純度要求。


沃飛WOFLY全自動特氣柜(GC)以PLC為控制主體,配合觸摸屏進行系統(tǒng)顯示和設定可實現(xiàn)自動吹掃、自動切換以及緊急情況下的自動安全切斷(當設定報警信號被觸發(fā)時)等基本功能,報警監(jiān)測功能齊全,還可根據(jù)不同的氣體特性和氣體使用要求,搭配不同的盤面設計,可以滿足不同行業(yè)需求,保證工廠正常生產(chǎn)和員工人身安全。



特氣柜SEMI S2認證——讓人心安


SEMI S2 ——半導體生產(chǎn)裝置的環(huán)境、健康、安全(Safety Guidelines for Semiconductor Manufacturing Equipment)。


SEMI S2是針對半導體制程設備供貨商所規(guī)范的基本健康和安全要求安全標準。符合SEMI S2 不僅符合了國際相關規(guī)定,也是半導體產(chǎn)業(yè)的保險公司所要求的必要條件之一。


沃飛WOFLY全自動特氣柜(GC)通過SIME S2認證,質(zhì)量和品質(zhì)都是值得信賴的,能在保證氣體純度的同時,將易燃易爆、劇毒、腐蝕性等危險性特種氣體安全穩(wěn)定的輸送到制程生產(chǎn)中,提高產(chǎn)品良率和保障生產(chǎn)安全。



綜上,在高純氣體工藝中超高純電子特氣設備特氣柜無論是在功能設計上,還是使用標準上,都是值得信賴的。最后,感謝您的閱讀!