半導(dǎo)體及太陽能薄膜工藝會(huì)使用到超高純硅烷SiH4、磷烷PH3，砷烷AsH3、乙硼烷B2H6、六氟化鎢WF6、高純氨NH3等特氣，這些氣體具有易燃、劇毒、強(qiáng)腐蝕等特性，但同時(shí)也是精密半導(dǎo)體電子元器件、新能源光電產(chǎn)品制造的必不可少的重要原料。在生產(chǎn)中若發(fā)生氣體泄漏，將會(huì)造成非常嚴(yán)重的產(chǎn)品質(zhì)量和人身傷亡事故。所以為確保安全，此類超高純特氣的輸送管道采用不銹鋼雙層管道工藝。該管道施工時(shí)，對(duì)作業(yè)環(huán)境潔凈度、管道內(nèi)外管材的潔凈度、焊接和安裝質(zhì)量的要求都非常高。本篇就為大家介紹一下超高純特氣雙套管的工藝原理和施工操作要點(diǎn)。

雙套管工藝原理概述：

  采用水平15°傾斜擺放姿勢進(jìn)行加工，順管內(nèi)介質(zhì)流向高純氮?dú)猓?9.9999%）進(jìn)行吹掃，不銹鋼彈簧填充雙層管夾層后用專用彎管裝置進(jìn)行彎管加工，雙層管道內(nèi)外充純氬（99.9999%）保護(hù)的全自動(dòng)軌道氬弧焊連接和柔性金屬墊片端面密封連接，結(jié)合氦氣檢漏的工藝原理，保證內(nèi)外層管道潔凈度、密閉性、彎管質(zhì)量以及管道焊接安裝質(zhì)量。

雙套管加工安裝操作要點(diǎn)：

1. 潔凈環(huán)境：現(xiàn)場設(shè)置三段預(yù)制加工潔凈區(qū)域，建立臨時(shí)潔凈室，要求凈化等級(jí)不低于9級(jí)，確保管件加工的潔凈度，進(jìn)入潔凈室的人員必須穿戴潔服、潔凈帽、潔凈鞋、潔凈手套等；

2.管道加工：管口的加工是本施工技術(shù)的關(guān)鍵點(diǎn)之一，管道切割、預(yù)制均在潔凈環(huán)境進(jìn)行，同時(shí)確保管道切割前表面無有害痕跡、破損。管道開封前應(yīng)做好管內(nèi)沖氮的準(zhǔn)備工作；

3.管道與配件及設(shè)備連接安裝：對(duì)于輸送易燃、劇毒特殊氣體的雙層管道，其與閥門、氣表及設(shè)備連接采用金屬墊片面密封接頭（VCR）安裝，金屬墊片采用柔性鎳合金墊片，確保密封嚴(yán)密；

4.管道安裝：雙層管道焊接碰頭最后接口處，采用增加末端滑套的安裝方式。

以上，便是關(guān)于半導(dǎo)體超高純特氣雙套管工藝的工藝原理和操作要點(diǎn)介紹，雙套管工藝對(duì)超高純特氣系統(tǒng)建成后能對(duì)運(yùn)行中的人員安全和產(chǎn)品質(zhì)量起到了很好的基礎(chǔ)保障作用。