近年來，伴隨著智能移動(dòng)設(shè)備、自動(dòng)駕駛汽車、5G通信、環(huán)保新能源等行業(yè)迎來強(qiáng)勁的市場(chǎng)需求，我國(guó)半導(dǎo)體集成電路芯片、液晶面板、光伏等行業(yè)也開啟了迅猛發(fā)展之路。與之相對(duì)應(yīng)的是，作為這些行業(yè)制造過程中不可缺少的基礎(chǔ)性支撐源材料的電子特氣，其用量也在不斷增長(zhǎng)。

由于實(shí)驗(yàn)需要，實(shí)驗(yàn)室經(jīng)常需要采用易燃易爆有毒氣體等特種氣體。目前，實(shí)驗(yàn)室普遍采用集中供氣，氣體需要經(jīng)過管路輸送到使用終端。在這過程中，細(xì)節(jié)的重要性體現(xiàn)得淋漓盡致?？梢哉f，特氣系統(tǒng)的細(xì)節(jié)一旦出現(xiàn)問題，都可能導(dǎo)致氣體不純，生產(chǎn)出現(xiàn)問題，甚至引發(fā)事故。為了防止易燃易爆有毒氣體泄露，需要采用更專業(yè)、安全的特氣管道系統(tǒng)。

大“氣”晚來遲，大“勢(shì)”正興起。作為專業(yè)從事氣體應(yīng)用系統(tǒng)工程的中堅(jiān)力量，沃飛科技打造了安全可靠的電子特氣管道系統(tǒng)，將特種氣體從氣源端、根據(jù)工藝設(shè)備的工藝需求、通過對(duì)流量和壓力等參數(shù)的控制，通過管道、無二次污染、穩(wěn)定地輸送到工藝設(shè)備，確保SiH4、NF3、C2易燃易爆的氣體、有毒的氣體、有腐蝕性的氣體、純度特別高（超過9.99%）的一些具有高危險(xiǎn)性的特氣儲(chǔ)存、輸送與分配。

沃飛科技深知電子特氣管道系統(tǒng)安裝的重要性，憑借著多年來精銳的技術(shù)力量和實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)，為芯片半導(dǎo)體、微電子企業(yè)、光伏太陽能、生物制藥、新材料等行業(yè)提供從供氣系統(tǒng)排氣處理、監(jiān)視系統(tǒng)的綜合管理系統(tǒng)，建立以安全為第一的特氣管理輸送系統(tǒng)。安全優(yōu)質(zhì)的工藝管道安裝質(zhì)量，是企業(yè)生存的關(guān)鍵，也是日后“安全生產(chǎn)”的保證。因此，沃飛科技對(duì)全過程進(jìn)行控制，根據(jù)氣體工藝要求進(jìn)行各項(xiàng)測(cè)試，提供設(shè)計(jì)、選型、制造、安裝、測(cè)試、調(diào)試和系統(tǒng)托管服務(wù)等整體解決方案。

特氣管道系統(tǒng)由儲(chǔ)存、輸送、分配、控制四類設(shè)備組成。每臺(tái)設(shè)備均配有PLC控制、彩色觸摸屏操作，帶有溫度、壓力、煙霧、泄漏監(jiān)控報(bào)警等功能，并可擴(kuò)展地震監(jiān)控報(bào)警；單臺(tái)設(shè)備可以獨(dú)成系統(tǒng)獨(dú)立運(yùn)轉(zhuǎn)，也可將多合設(shè)備通過PLC或TGO連接組成大系統(tǒng)，在監(jiān)控中心統(tǒng)一監(jiān)控管理，其報(bào)警系統(tǒng)還可以與安監(jiān)系統(tǒng)、消防系統(tǒng)對(duì)接，保證各生產(chǎn)工藝的電子特氣的純度和安全穩(wěn)定供應(yīng)，從根本上保證了電子器件的準(zhǔn)確性。在施工結(jié)束后，沃飛科技還會(huì)進(jìn)行壓力檢測(cè)，氦檢漏，顆粒度和水分、氧分測(cè)試。

十四五規(guī)劃以“科技自主自強(qiáng)”為戰(zhàn)略支撐，將進(jìn)一步加大對(duì)科技前沿領(lǐng)域集成電路全產(chǎn)業(yè)鏈的攻關(guān)力度。伴隨著電子行業(yè)一路高歌，沃飛科技將利用自身豐富的研發(fā)設(shè)計(jì)能力，貼近客戶應(yīng)用并不斷創(chuàng)新，全面覆蓋先進(jìn)工藝設(shè)備端以及配套產(chǎn)品服務(wù)，通過提升技術(shù)突破和產(chǎn)能擴(kuò)張的節(jié)奏，搶抓市場(chǎng)機(jī)遇，全力支持國(guó)內(nèi)電子特氣行業(yè)加快發(fā)展，早日實(shí)現(xiàn)集成電路制造廠電子特氣綜合供應(yīng)。