隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展，特氣設(shè)備越來越多的應(yīng)用于IC芯片生產(chǎn)、鍍層、實驗室科研等項目中。其中，特氣柜是專門為了應(yīng)對易燃易爆、腐性、毒性等危險特種氣體供應(yīng)而設(shè)計出來的一種供氣系統(tǒng)。

高純工藝系統(tǒng)電子特氣設(shè)備（特氣柜）

類型：可分為單鋼瓶/ 雙鋼瓶/ 三鋼瓶特氣柜

1.  單鋼的設(shè)計通常使用于研究機(jī)構(gòu)或?qū)嶒炇业龋?/span>

2.  雙鋼與三鋼常用于量產(chǎn)工廠。

特氣柜設(shè)備設(shè)計：

沃飛WOFLY全自動特氣柜（GC）采用PLC控制，觸控屏為人機(jī)界面，通過設(shè)備安裝的壓力傳感器、氣動閥、過流量計等裝置，進(jìn)行系統(tǒng)顯示和設(shè)定，實現(xiàn)設(shè)備安全有效的運(yùn)行。其內(nèi)部PLC程式設(shè)計的安全聯(lián)鎖功能、高純閥件的合理選擇和布局，既滿足了半導(dǎo)體工藝生產(chǎn)過程中對特殊氣體連續(xù)供給和高純度的要求，同時也確保了工廠正常生產(chǎn)和員工人身安全。

沃飛WOFLY全自動特氣柜（GC）基本功能包括自動吹掃、自動切換以及緊急情況下的自動安全切斷（當(dāng)設(shè)定報警信號被觸發(fā)時）。擁有SIME S2認(rèn)證，報警偵測警報功能齊全，在產(chǎn)品品質(zhì)和安全上都是可以信賴和放心的，還可根據(jù)不同的氣體特性和氣體使用要求，搭配不同的盤面設(shè)計，可以滿足客戶的行業(yè)需求。

以上就是關(guān)于高純工藝系統(tǒng)電子特氣設(shè)備特氣柜的簡單介紹了，感謝您的閱讀！