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特氣系統(tǒng)工程中特氣柜的意義

2020-10-23 11:11:07    責(zé)任編輯: 特氣系統(tǒng)工程設(shè)計安裝公司     0

特氣系統(tǒng)是用于保證特種氣體安全使用的系統(tǒng),大致由特氣設(shè)備、特種氣體管道和使用終端三部分組成,其中,特氣柜是特氣系統(tǒng)的核心設(shè)備,關(guān)系著穩(wěn)定輸送氣體、保證特種氣體的使用安全和人員安全等功能。



特種氣體的氣體性質(zhì)可以滿足行業(yè)的工藝需求,被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子、液晶、光伏和太陽能電池等行業(yè)領(lǐng)域,但同時,特種氣體大多都是危險性氣體,如SiH4、NF3等。所以保證特種氣體安全使用,是特氣系統(tǒng)存在的意義,那特氣柜在這里面起到什么作用呢?


沃飛WOFLY特氣柜(GC)是專為易燃易爆、腐蝕性、毒性等危險性特種氣體供應(yīng)而設(shè)計的特氣設(shè)備,按類別可分為:全自動、半自動和手動操作。沃飛WOFLY全自動特氣柜(GC)基本功能包括自動吹掃、自動切換以及緊急情況下的自動安全切斷(當(dāng)設(shè)定報警信號被觸發(fā)時)。




沃飛WOFLY全自動特氣柜(GC)以PLC為控制主體,配合觸摸屏進行系統(tǒng)顯示和設(shè)定,實現(xiàn)設(shè)備安全有效的運行。其內(nèi)部PLC程式設(shè)計的安全聯(lián)鎖功能、高純閥件的合理選擇和布局,既滿足了半導(dǎo)體工藝生產(chǎn)過程中對特殊氣體連續(xù)供給和高純度的要求,同時也確保了工廠正常生產(chǎn)和員工人身安全。


沃飛WOFLY全自動特氣柜(GC)擁有SIME 2認(rèn)證,在產(chǎn)品品質(zhì)和功能都是可以信賴和放心的,還可根據(jù)不同的氣體特性和氣體使用要求,搭配不同的盤面設(shè)計,可以滿足客戶的行業(yè)需求。


綜上,特氣系統(tǒng)工程是一項比較重要又危險的工程,特氣柜是關(guān)系其中大部分功能的核心設(shè)備,沒有特氣柜的特氣系統(tǒng)工程是不完整的。感謝您的閱讀,更多特氣系統(tǒng)詳情,請關(guān)注我們!