隨著太陽能電池、半導(dǎo)體、微電子等行業(yè)的日新月異，其行業(yè)中蝕刻制程與化學(xué)氣相沉積制程中產(chǎn)生的尾氣廢氣也在不斷增加，特氣系統(tǒng)中尾氣廢氣處理問題也慢慢成為一個不容忽視的問題，對其配套項目也提出了更高要求。

特種氣體尾氣現(xiàn)狀

尾氣作為特氣系統(tǒng)的衍生物，是不可避免的存在。在過去，很多高校實驗室由于用氣量不大，建設(shè)單位的業(yè)主沒有充分意識到尾氣的排放問題，但隨著更多半導(dǎo)體工廠涌現(xiàn)，生產(chǎn)用特氣尾氣的排放越來越多，引起了重視。那么怎么排放，如何排放成為擺在很多用戶面前的問題。今天由深圳沃飛科技有限公司的工作人員為大家介紹一下。

特氣系統(tǒng)尾氣排放處理裝置的處理方法

依據(jù)廢氣處理的特性，在處理可分為四種處理方式：

1.水洗式（處理腐蝕性氣體）

2.氧化式（處理燃燒性；毒性氣體）

3.吸附式（依照吸附材種類處理對應(yīng)之廢氣）

4.等離子燃燒式（各類型廢氣皆可處理）

各類型之處理皆有其優(yōu)缺點及其適用范圍，處理.方式水洗時，設(shè)備便宜處理方式簡單，僅能處理水溶性氣體；電熱水洗式應(yīng)用范圍較水洗時，運轉(zhuǎn)成本高；干式處理效率佳，不適用于容易堵塞或氣體流動。

特氣系統(tǒng)尾氣排放處理裝置的選擇須知

尾氣對環(huán)境或人體皆具有一定的危害性必須防止其直接排放大氣中。所以，一般半導(dǎo)體廠都已加裝大型中央廢氣處理系統(tǒng)，但此系統(tǒng)僅以水洗滌廢氣，故其應(yīng)用范圍僅限于處理水溶性氣體，無法適應(yīng)日新月異且分工細(xì)微的半導(dǎo)體工藝廢氣。

因此必須依據(jù)各工藝所衍生出的氣體特性種類，選擇搭配相對應(yīng)的廢氣處理設(shè)備才能有效解決廢氣問題。

由于工作區(qū)域多半離中央廢氣處理系統(tǒng)遠(yuǎn)，常因氣體特性導(dǎo)致管路中結(jié)晶或粉塵堆積造成管路堵塞后導(dǎo)致氣體泄漏，嚴(yán)重者甚至引起爆炸，無法確保現(xiàn)場工作人員之工作安全。因此在工作區(qū)域，尾氣處理裝置應(yīng)靠近GR、GC等特種氣體設(shè)備布置?；蚺渲眠m合工藝氣體特性的小型廢氣處理設(shè)備(Local Scrubber)，以減少在工作區(qū)域滯留的廢氣確保人員安全。

以上，就是關(guān)于特氣系統(tǒng)中尾氣處理裝置處理尾氣的方法和要注意的地方，希望對您有用，感謝您的閱讀！