在TFT-LCD制造工藝CVD沉積工序中使用到的工藝特氣：硅烷(S1H4)，氨氣(NH3)，磷烷(PH3)，笑氣(N2O)，NF3等，另外參與工藝過(guò)程的還有高純度氫氣和高純度氮?dú)獾却笞跉怏w。濺射工序中要用到氬氣，濺射成膜氣體是濺射的主要材料。首先要求成膜氣體不能喝靶材發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，最合適的氣體是惰性氣體。蝕刻工序中也會(huì)用到大量的特氣，而電子特氣多是易燃易爆、劇毒的氣體，因此對(duì)氣路的要求很高，技術(shù)也要求很高。沃飛科技專(zhuān)業(yè)從事超高純特氣輸送系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與安裝。

　　公司專(zhuān)業(yè)致力于氣體管道工程，其主要產(chǎn)品有減壓閥，卡套接頭，閥門(mén)管件，管道系統(tǒng)安裝、球閥針閥、VCR接頭、焊接接頭、阻火器、過(guò)濾器、氣體管道系統(tǒng)、高純管道系統(tǒng)、不銹鋼潔凈管等產(chǎn)品,是一家專(zhuān)業(yè)從事高純度/特氣供氣系統(tǒng)、各種實(shí)驗(yàn)室/研究所供氣系統(tǒng)、氣體管道工程、安裝調(diào)試服務(wù)于一體的高新技術(shù)企業(yè)，系統(tǒng)應(yīng)用于tft-lcd產(chǎn)業(yè) 包括：TFT-LCD、AM-OLED、OLED、PDP、平板玻璃基板、偏光片、手機(jī)觸摸屏、觸容屏等