半導體制程生產(chǎn)中會用到大量的有毒腐蝕性易燃的特殊氣體、化學品和有機溶劑等原材料，這些物質(zhì)所產(chǎn)生的廢氣在冗長的排氣過程中，因其氣體性質(zhì)可能會引發(fā)風管堵塞、管路腐蝕等，導致氣體泄漏、火災爆炸等事故，所以應先在就近的小型尾氣處理設備（Local Scrubber）進行處理，后再進入中央處理系統(tǒng)處理。

小型尾氣處理設備（Local Scrubber）根據(jù)處理廢氣方式，大致分四類：水洗式、氧化式、吸附式和等離子燃燒式，今天給大家介紹的是吸附式尾氣處理設備，和該設備中設計、結(jié)構(gòu)和功能上的“安全”。

吸附式尾氣處理設備設計上： 

1、小型尾氣處理設備（Local Scrubber）設計初衷是為了查漏補缺和應急使用，保護環(huán)境和人員安全。

2、以吸附桶完全處理設備尾氣，確保尾氣處理的安全性處理過程中沒有危害；

3、在無塵室內(nèi)不產(chǎn)生火源，沒有明火，可以減少事故的發(fā)生；

吸附式尾氣處理設備結(jié)構(gòu)上：

1、PLC 觸控面板設計和人機接口控制系統(tǒng)，可實現(xiàn)設備安全有效的運行。

2、全面監(jiān)控：各管路進、出口設計壓力、溫度、CDA流量、N2流量傳感器，針對設備運行時各種狀況，隨時監(jiān)控，避免泄漏等事故的發(fā)生。

3、尾氣出口處：安裝變頻風機，可根據(jù)進出口壓力，調(diào)整風機轉(zhuǎn)速，避免廢氣回流，保護系統(tǒng)及設備安全。

4、指示劑：配備PH3, AsH3氣體監(jiān)控變色球指示劑，替代傳統(tǒng)電化學計。

尾氣處理設備功能中：

半導體制造生產(chǎn)的廢氣對環(huán)境或人體皆具有一定的危害性，必須防止其直接排放大氣中，所以一般半導體廠都會加裝大型中央廢氣處理系統(tǒng)。但由于工作區(qū)域多半離中央廢氣處理系統(tǒng)遠，常因氣體特性導致管路中結(jié)晶或粉塵堆積造成管路堵塞后導致氣體泄漏，嚴重者甚至引起爆炸，無法確保現(xiàn)場工作人員之工作安全。因此在工作區(qū)域需配置適合工藝氣體特性的小型尾氣處理設備(Local Scrubber)，以減少在工作區(qū)域滯留的廢氣確保人員安全。

以上，便是關于吸附式尾氣處理設備中設計理念、結(jié)構(gòu)組成和功能作用上的“安全”介紹，今天就到這了，感謝您的閱讀！