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高純工藝系統(tǒng)電子特氣設(shè)備特氣柜介紹——沃飛

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發(fā)布時(shí)間:2020-11-05
隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展,特氣設(shè)備越來越多的應(yīng)用于IC芯片生產(chǎn)、鍍層、實(shí)驗(yàn)室科研等項(xiàng)目中。其中,特氣柜是專門為了應(yīng)對(duì)易燃易爆、腐性、毒性等危險(xiǎn)特種氣體供應(yīng)而設(shè)計(jì)出來的一種供氣系統(tǒng)。高純工藝系統(tǒng)電子特氣設(shè)備(特氣柜)類型:可分為單鋼瓶/ 雙鋼瓶/ 三鋼瓶特氣柜1.  單鋼的設(shè)計(jì)通常使用于研究機(jī)構(gòu)或?qū)嶒?yàn)室等;2.  雙鋼與三鋼常用于量產(chǎn)工廠。特氣柜設(shè)備設(shè)計(jì):沃飛WOFLY全自動(dòng)特氣柜(GC)采用PLC控制,觸控屏為人機(jī)界面,通過設(shè)備安裝的壓力傳感器、氣動(dòng)閥、過流量計(jì)等裝置,進(jìn)行系統(tǒng)顯示和設(shè)定,實(shí)現(xiàn)設(shè)備安全有效的運(yùn)行。其內(nèi)部PLC程式設(shè)計(jì)的安全聯(lián)鎖功能、高純閥件的合理選擇和布局,既滿足了半導(dǎo)體工藝生產(chǎn)過程中對(duì)特殊氣體連續(xù)供給和高純度的要求,同時(shí)也確保了工廠正常生產(chǎn)和員工人身安全。沃飛WOFLY全自動(dòng)特氣柜(GC)基本功能包括自動(dòng)吹掃、自動(dòng)切換以及緊急情況下的自動(dòng)安全切斷(當(dāng)設(shè)定報(bào)警信號(hào)被觸發(fā)時(shí))。擁有SIME S2認(rèn)證,報(bào)警偵測(cè)警報(bào)功能齊全,在產(chǎn)品品質(zhì)和安全上都是可以信賴和放心的,還可根據(jù)不同的氣體特性和氣體使用要求,搭配不同的盤面設(shè)計(jì),可以滿足客戶的行業(yè)需求。以上就是關(guān)于高純工藝系統(tǒng)電子特氣設(shè)備特氣柜的簡(jiǎn)單介紹了,感謝您的閱讀!
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