電子特種氣體管道系統(tǒng)的配置規(guī)范及要求

電子特種氣體管道系統(tǒng)非常講究安全，對設(shè)備配置有很多規(guī)范，在操作設(shè)計上也有很多的要求，這里主要介紹下電子特種氣體管道系統(tǒng)的配置規(guī)范及要求。

特種氣體輸送系統(tǒng)概述

在現(xiàn)代半導(dǎo)體、科研實驗室、綜合廠房的集中供氣系統(tǒng)中，氣瓶柜、氣瓶架已經(jīng)成為鋼瓶氣體的標配，那么這些GR、GC的配置有什么要求呢?相信很多業(yè)主和用戶并沒有一個清晰的概念，只有了解了規(guī)范化的要求，才能在廠房、實驗室的建設(shè)中合理規(guī)劃布局、安全使用。

特種氣體輸送系統(tǒng)設(shè)備配置規(guī)范

1、GC、GR可采用單工藝氣瓶外置吹掃氮氣(源)瓶(單瓶式)、雙工藝氣瓶外置吹掃氮氣、雙工藝氣瓶內(nèi)置吹掃氮氣等多種結(jié)構(gòu)配置。

2、GC、GR 應(yīng)設(shè)置作業(yè)用氣體面板。

3、系統(tǒng)的供應(yīng)能力應(yīng)經(jīng)過熱力學和流體力學計算核實。

4、氣瓶柜閉門時應(yīng)保持不低于100Pa負壓，柜內(nèi)的排風換氣次數(shù)不得低于300次/H 。

5、GC板材厚度不得低于2.5mm，并有放腐蝕涂層。

6、GC門應(yīng)具備自動關(guān)閉功能，并配備防爆玻璃觀察窗，地腳螺栓設(shè)計應(yīng)滿足當?shù)氐卣鹪O(shè)防烈度的要求。


特氣系統(tǒng)安全要求

1、不相容氣體瓶嚴禁放置于同一氣瓶柜或氣瓶架中。

2、自然性、可燃性、毒性、腐蝕性氣瓶柜應(yīng)在排風出口設(shè)置氣體泄露偵測器。

3、GC、GR應(yīng)設(shè)置清晰明確的安全標識牌

以上就是沃飛科技為大家講解的電子特種氣體管道系統(tǒng)的配置規(guī)范及要求