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高純電子特氣系統(tǒng)——特氣系統(tǒng)里的特氣設(shè)備!

2020-08-25 15:37:35    責(zé)任編輯: 特氣設(shè)備設(shè)計(jì)公司     0

隨著現(xiàn)在半導(dǎo)體行業(yè)、實(shí)驗(yàn)室和工業(yè)綜合廠房的不斷發(fā)展,高純電子特氣系統(tǒng)被廣泛應(yīng)用。GR特氣架、GC特氣柜在這些行業(yè)里成為了標(biāo)配,很容易見到。

高純電子特氣系統(tǒng)輸送的氣體,是特氣,具有腐蝕、劇毒等性質(zhì)的危險(xiǎn)性氣體,那它的特氣設(shè)備的配置、使用有哪些規(guī)范呢?

GC特氣柜是專為易燃易爆、腐蝕性、毒性等危險(xiǎn)性氣體供應(yīng)而設(shè)計(jì)的供應(yīng)系統(tǒng),按類別分全自動(dòng)、半自動(dòng)和手動(dòng)操作?;竟δ馨ㄗ詣?dòng)吹掃、自動(dòng)切換以及緊急情況下的自動(dòng)安全切斷(當(dāng)設(shè)定報(bào)警信號(hào)被觸發(fā)時(shí))。

咱們下面以沃飛WOFLY全自動(dòng)特氣柜(GC)為例,全自動(dòng)特氣柜以PLC為控制主體,配合觸摸屏進(jìn)行系統(tǒng)顯示和設(shè)定,搭配不同的盤面設(shè)計(jì),以滿足太陽(yáng)能、半導(dǎo)體行業(yè)需求。

特氣系統(tǒng)設(shè)備GC配置規(guī)范:


1.GC應(yīng)配置作業(yè)用氣體面板。

2.氣柜應(yīng)有帶機(jī)械鎖的自關(guān)閉的柜門,可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)關(guān)閉功能,并且配備防爆玻璃觀察窗,遞交螺栓設(shè)計(jì)應(yīng)滿足當(dāng)?shù)氐卣鹪O(shè)防烈度的要求。

3.氣瓶柜在柜門關(guān)閉時(shí),氣瓶柜內(nèi)部是處于負(fù)壓狀態(tài),而且不得低于100Pa,還有柜內(nèi)的排風(fēng)換氣的頻率不能低于300次/H。

4.報(bào)警偵測(cè)警報(bào)功能齊全。

5.氣瓶柜的板材需要有防腐蝕涂層,且板材厚度不得低于2.5mm。

6.急停按鈕應(yīng)位于控制面板上

對(duì)于有特殊需求的客戶,WOFLY特氣柜可能需配備一些其他的安全裝備,比如:氣柜里安裝噴淋頭,在氣體下游流量過大是報(bào)警的過流開關(guān),需要安裝溫度開關(guān)的可燃?xì)怏w系統(tǒng)等,具體的配置是根據(jù)需求發(fā)生改變的。

以上,就是特氣系統(tǒng)里的特氣設(shè)備,GC特氣柜一些基礎(chǔ)配置規(guī)范啦。感謝您的閱讀!