當(dāng)下，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)已經(jīng)成為國家重點(diǎn)發(fā)展的行業(yè)?？v觀整個(gè)半導(dǎo)體行業(yè)的生產(chǎn)過程，從芯片研發(fā)生產(chǎn)到零部件的封裝，幾乎每一個(gè)環(huán)節(jié)都離不開電子特氣，而且所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高，直接影響了集成電路的最終良率和可靠性，氣體品質(zhì)若不合格輕則導(dǎo)致產(chǎn)品嚴(yán)重缺陷，重則導(dǎo)致整條生產(chǎn)線被污染乃至全面癱瘓，是名副其實(shí)的電子工業(yè)“血液”。
在半導(dǎo)體集成電路中，電子氣體主要應(yīng)用于蝕刻、摻雜、CVD、清洗等，所有氣體在其來源處都必須具有極高的純度，并且必須在工廠內(nèi)存在的整個(gè)氣體分配系統(tǒng)中保持這種純度。一些氣體可能還需要進(jìn)一步的使用點(diǎn) (POU) 凈化，以確保關(guān)鍵過程中的超低污染物水平。
其中，氮?dú)夂蜌鍤馐前雽?dǎo)體制造廠中使用較為頻繁的氣體。它們通常以“59s”純度或 99.999% 純度供應(yīng)給晶圓廠。這種純度水平是必要的，因?yàn)榇罅康倪@些氣體用于清洗工藝設(shè)備，即使非常低的污染水平也會(huì)在長時(shí)間的清洗循環(huán)中產(chǎn)生破壞性的累積污染水平。其他大氣（即氧氣、氫氣、氦氣）的使用量略低，純度水平略低，這是可以接受的（但所有這些氣體在交付和現(xiàn)場(chǎng)存儲(chǔ)設(shè)施中的純度必須高于 99%）。
圖1。典型的散裝低溫氣體儲(chǔ)存和分配系統(tǒng)。
在晶圓廠內(nèi)，根據(jù)氣體的用途和性質(zhì)，氣體可以以不同的方式儲(chǔ)存和分配。大容量大氣通常儲(chǔ)存在大型低溫液體儲(chǔ)罐中，例如圖 1 中以示意圖形式顯示的儲(chǔ)罐。這些儲(chǔ)罐本質(zhì)上只是大型“杜瓦瓶”容器，內(nèi)部容器包含包裹在外殼中的低溫液體內(nèi)容器和外殼之間的高真空。真空是將液體保持在低溫下的最佳絕緣材料。除了低溫儲(chǔ)存，管式拖車通常用于現(xiàn)場(chǎng)儲(chǔ)存大量大氣。
危險(xiǎn)的高壓氣體包括具有自燃、易燃、腐蝕性和毒性特征的氣體（例如，硅烷、大多數(shù)碳?xì)浠衔?、氟化物和氯化物、磷化氫、胂等）。這些氣體通常儲(chǔ)存在高壓氣瓶中，高壓氣瓶必須保存在通風(fēng)良好的氣柜中，氣柜專門設(shè)計(jì)用于減輕與特定氣體相關(guān)的危險(xiǎn)。大多數(shù)半導(dǎo)體制造廠在現(xiàn)場(chǎng)都有大量這樣的機(jī)柜，并且有嚴(yán)格的規(guī)定來管理給定設(shè)施中有害氣體的放置和數(shù)量。（例如，參見美國國家防火協(xié)會(huì)發(fā)布的標(biāo)準(zhǔn)，特別是 NFPA 45，即使用化學(xué)品的實(shí)驗(yàn)室防火標(biāo)準(zhǔn)）。圖 2 顯示了一個(gè)典型的危險(xiǎn)氣體柜的示意圖，該柜設(shè)計(jì)用于容納自燃?xì)怏w，例如硅烷。這些機(jī)柜配備了適當(dāng)?shù)呐浼?，用于連接高壓鋼瓶和閥門配置，這些配件設(shè)計(jì)用于交叉吹掃管道連接，以在斷開空鋼瓶之前去除殘留的氣體?，F(xiàn)代氣柜通常配備分析傳感器，可以檢測(cè)氣瓶或管道的任何泄漏。
除了大容量儲(chǔ)存之外，一些高用量氣體可能會(huì)在現(xiàn)場(chǎng)使用氣體發(fā)生器產(chǎn)生，這些氣體發(fā)生器由氣體供應(yīng)商向半導(dǎo)體工廠供應(yīng)、維護(hù)和操作。
長期以來，沃飛科技WOFLY把應(yīng)用于電子半導(dǎo)體領(lǐng)域的特種氣體及大宗氣體作為重點(diǎn)研發(fā)方向，創(chuàng)新研發(fā)多款大宗氣體系統(tǒng)，可用于確保半導(dǎo)體晶圓廠環(huán)境中大宗氣體供應(yīng)的質(zhì)量。公司在系統(tǒng)安全、供氣穩(wěn)定、連續(xù)不中斷的前提下，嚴(yán)格保證氣體的品質(zhì)及可靠性，包括對(duì)氣體的壓力、露點(diǎn)、雜質(zhì)、顆粒度、流速等都有嚴(yán)格精度要求，每一步均有嚴(yán)格的技術(shù)參數(shù)要求和質(zhì)量控制措施，保證“超純超凈”。
當(dāng)下，國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)迅猛發(fā)展，晶圓廠投產(chǎn)如火如荼，電子氣體已經(jīng)成為國內(nèi)不可避免的“卡脖子”環(huán)節(jié)，而沃飛科技基于嚴(yán)謹(jǐn)?shù)钠焚|(zhì)意識(shí)、先進(jìn)的管理理念和全方位的安全管理水平，用連續(xù)、穩(wěn)定的產(chǎn)品和良好的服務(wù)贏得客戶的信任，以科技創(chuàng)新提供專業(yè)高質(zhì)的電子氣體設(shè)備和整體解決方案，助力中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。
