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電子級三氯氫硅特種氣體在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用

電子級三氯氫硅特種氣體在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用

發(fā)布時間:2019-06-15
  電子級三氯氫硅特種氣體在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用  電子級三氯氫硅是半導(dǎo)體行業(yè)不可或缺的重要電子特種氣體原材料,國內(nèi)目前主要依賴進(jìn)口。隨著我國集成電路行業(yè)快速增長,對電子級三氯氫硅需求呈日益增長態(tài)勢。實(shí)現(xiàn)電子級三氯氫硅特種氣體的國產(chǎn)化,對我國集成電路行業(yè)發(fā)展意義重大。本文重點(diǎn)分析電子級三氯氫硅特種氣體在芯片制造過程的作用。  根據(jù)全球半導(dǎo)體貿(mào)易統(tǒng)計(jì)組織(WSTS)發(fā)布的數(shù)據(jù)顯示,2017年全球半導(dǎo)體銷售收入達(dá)到4087億美元,同比增長20.6%。電子級三氯氫硅是半導(dǎo)體行業(yè)不可或缺的重要電子特種氣體原材料,隨著我國集成電路行業(yè)快速增長,對電子級三氯氫硅需求呈日益增長態(tài)勢,但該關(guān)鍵基礎(chǔ)原料國內(nèi)目前主要依賴進(jìn)口。其生產(chǎn)和制造存在非常高的技術(shù)要求,當(dāng)前,世界上只有美國、日本、德國等少數(shù)國家能夠大規(guī)模生產(chǎn)符合芯片制造要求的電子級三氯氫硅,最大的生產(chǎn)商是德國的Wacher公司和日本信越公司。電子級三氯氫硅進(jìn)口產(chǎn)品到終端客戶價格約為每噸15-20萬元,是工業(yè)級三氯氫硅的幾十倍。因此,電子級三氯氫硅特種氣體研究對我國集成電路行業(yè)發(fā)展意義重大,值得深入研究應(yīng)用?!   ‰娮蛹壢葰涔柙谛酒圃爝^程的作用  電子級三氯氫硅可作為半導(dǎo)體外延硅片的硅源,主要被應(yīng)用于制造各種半導(dǎo)體芯片和微型集成電路元器件,是微電子、光電子元件制造過程中不可或缺的重要材料。半導(dǎo)體硅片外延層生長采用最多的是氣相外延工藝:氫(H2)氣攜帶四氯化硅(SiCl4)或三氯氫硅(SiHCl3)、硅烷(SiH4)或二氯氫硅(SiH2Cl2)等進(jìn)入置有硅襯底的反應(yīng)室,在反應(yīng)室進(jìn)行高溫化學(xué)反應(yīng),使含硅反應(yīng)氣體還原或熱分解,所產(chǎn)生的硅原子在襯底硅表面上外延生長。使用三氯氫硅作為硅源具有外延生長速度快,使用安全,是較為通用的硅源,其化學(xué)反應(yīng)式為:SiHCl3+H2=Si+3HCl    隨著我國集成電路行業(yè)快速發(fā)展,實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵基礎(chǔ)材料電子級三氯氫硅特種氣體的國產(chǎn)化勢在必行。國內(nèi)部分企業(yè),尤其是具備電子級多晶硅生產(chǎn)技術(shù)的企業(yè)已掌握電子級三氯氫硅提純技術(shù),但仍亟待建立充裝運(yùn)輸過程質(zhì)量控制標(biāo)準(zhǔn)?! ∩钲谖诛w科技有限公司是一家從事氣體應(yīng)用系統(tǒng)工程:電子特氣管道系統(tǒng)、實(shí)驗(yàn)室氣路系統(tǒng)、工業(yè)集中供氣系統(tǒng)、大宗氣體(液體)系統(tǒng)、高純氣體及特種工藝氣體二次配管系統(tǒng)、化學(xué)品輸送系統(tǒng)、純水系統(tǒng)提供從技術(shù)咨詢、整體規(guī)劃、系統(tǒng)設(shè)計(jì)、選定設(shè)備、預(yù)制組件、項(xiàng)目現(xiàn)場安裝建設(shè)、整體系統(tǒng)檢測等全套工程技術(shù)服務(wù)和配套產(chǎn)品于一體的高新技術(shù)企業(yè); 榮獲“國家高新技術(shù)企業(yè)”認(rèn)定并取得證書?! 」こ添?xiàng)目覆蓋半導(dǎo)體、集成電路、光電、新能源、微電子、生物醫(yī)藥、科研所、標(biāo)準(zhǔn)檢測等高科技行業(yè);為客戶提供高純介質(zhì)輸送系統(tǒng)全套解決方案與全國各大院??蒲兴献餮邪l(fā)的多個實(shí)驗(yàn)室項(xiàng)目,并取得了可喜的成績。同時為眾多高新技術(shù)企業(yè)和上市企業(yè)提供了優(yōu)良的氣體應(yīng)用系統(tǒng)服務(wù),保障其生產(chǎn)和設(shè)備的可靠運(yùn)行!
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